Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2108U000569, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Измерение аксиального энергетического разброса высокочастотного мультикаспового источника ионов Автор Дата публікації 01-01-2008 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9559 Видання Изд-во СумГУ Опис Представлены результаты измерения аксиального энергетического разброса высокочастотного мультикаспового источника ионов, работающего на частоте 27,12 МГц. Измерены функции распределения ионов по энергии гелиевого и аргонового пучков при изменении высокочастотной мощности в пределах 50-300 Вт с помощью сеточного энергоанализатора методом задерживающего потенциала. Определены средняя энергия и энергетический разброс ионов гелия и аргона. Установлено, что минимальный энергетический разброс ионов гелия равен 7±1 эВ при 150 Вт ВЧ мощности При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9559 The results of axial energy spread measurements of a 27.12 MHz radio-frequency multicusp ion source are presented. Ion energy distribution functions of extracted helium and argon ion beams have been measured by use of retarding field energy analyzer for 50-300 W of radio-frequency power. Average energy and energy spread of helium and argon ions have been determined. It was found that minimal ion energy spread of helium beam is equal to 7±1 eV at 150 W of radio-frequency power. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9559 Додано в НРАТ 2025-03-31 Закрити