Інформація × Реєстраційний номер 2108U000630, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Thesis Назва роботи Магнетронні розпилювальні системи Автор Дата публікації 01-01-2008 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4346 Видання Видавництво СумДУ Опис Науковий керівник: Опанасюк Н.М. Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити