Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2109U000343, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Масс-спектрометрическое исследование процессов ионного распыления при высоких энергиях первичных ионов Автор Дата публікації 01-01-2009 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9289 Видання Видавництво СумДУ Опис Стаття присвячена мас-спектрометричному дослідженню процесів іонного розпилення в широкому інтервалі енергій первинних іонів. З цією метою розроблена конструкція мас-спектрометра вторинних нейтралей, що на відміну від традиційних установок даного типу побудована на базі іонного імплантера, що генерує пучки іонів з енергією до 170 кеВ і щільністю струму на мішені до 1 мА/см2. Проведено комп'ютерне моделювання траєкторій електронів і позитивних іонів у системі реєстрації розпилених частинок і визначені оптимальні параметри системи для трьох режимів роботи установки. Проведено дослідження емісії розпилених нейтральних кластерів міді, а також процесів переважного розпилення ізотопів молібдену при різних параметрах пучка первинних іонів аргону. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9289 Додано в НРАТ 2025-03-24 Закрити