Стаття. Селецька О. О.. Оптичний мікроелектронний перетворювач з фототранзистором для контролю плазмохімічних процесів Оптический микроэлектронный преобразователь с фототранзистором для контроля плазмохимических процессов Optical microelectronic transducer with a photo transistor for control plasma chemical processes