Стаття. Осадчук В. С.. Оптичний мікроелектронний перетворювач з активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесів Optical microelectronic converter with active inductive element for control of plasmochemical processes Оптический микроэлектронный преобразователь с активным индуктивным элементом для контроля плазмохимических процессов