Search academic texts

Information × Registration Number 2110U000890, Article popup.category Стаття Title popup.author popup.publication 01-01-2010 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3912 popup.publisher Telecommunications and Radio Engineering Description Application of focused beams of medium energy light ions, electrons and low energy heavy ions is considered for the technology of manufacturing of small-dimension components. Physical principles applied as the basis for interaction of the above beams with resistive materials are described. The proton beam lithography is considered as a new technology possessing high potential capabilities for various applications like micro-optics and nanoelectronics of terahertz wave band.  When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3912 popup.nrat_date 2025-05-12 Close