Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2111U000291, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Design optimization of deflection caused after release of multilayer structural membrane of Symmetric Toggle Switch Автор Дата публікації 01-01-2011 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/22123 Видання Видавництво СумДУ Опис This paper presents the optimization in deflection caused by the inbuilt stress generated in mechanical or movable membrane of Symmetric Toggle RF MEMS Switch (STS). The movable membrane of STS was initially fabricated with two different materials, i.e. Chrome and Gold. The simulated deflection at 70°C was 11.9 μm, and experimental deflection was 11-12 μm. We present a study of inbuilt deflection reduction in multimetal movable layers without change in actuation voltage of the switch. The design study was initially carried out on cantilevers and then on structural membrane of STS. STS with proposed multilayer of Cr-Au-Au-Ti-Au has a simulated deflection of 0.56 μm at 70°C. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/22123 Додано в НРАТ 2025-03-24 Закрити