Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2111U003687, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Опубліковано, Стаття Назва роботи ВПЛИВ АТОМАРНОГО ВОДНЮ НА СТРУКТУРИ МЕТАЛ – НАПІВПРОВІДНИК. АДГЕЗІЯ ТОНКИХ МЕТАЛЕВИХ ПЛІВОК Автор Жавжаров Є. Л.Матюшин В. М.Zhavzharov E. P.Matiushin V. M. Дата публікації 11-01-2011 Постачальник інформації Журнал "Радіоелектроніка, інформатика, управління" (Національний університет "Запорізька політехніка") Першоджерело https://ric.zp.edu.ua/article/view/14482 Видання National University "Zaporizhzhia Polytechnic" Опис Досліджено вплив атомарного водню на зміну властивостей тонкоплівкових структур Cu-Si. Структури на основі тонких (20–500 нм) плівок міді піддавалися дії атомарного водню при концентраціях 1014–1019 м–3. Показано, що при такій взаємодії відбувається низькотемпературне відновлення оксиду міді, підвищуються адгезія та когезія плівок міді до підкладинок Si. Додано в НРАТ 2026-02-11 Закрити