Кравченко С. Ю.. Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур
:
публікація 2011-01-01;
Вінницький національний технічний університет,
2111U005532
Оновлено: 2026-11-08