Search academic texts

Information × Registration Number 2112U001693, Article popup.category Thesis Title popup.author popup.publication 01-01-2012 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27619 popup.publisher Издательство СумГУ Description В связи с ограничениями оптической литографии, связанными с явлением дифракции, сравнительно недавно появилась технология нового поколения – ионная литография, в которой применяется прямое экспонирование сфокусированным пучком заряженных частиц. Определенный интерес в разработке таких литографических технологий высокого разрешения связан с возможностью преодоления трудностей при создании структур с размерами ниже 100 нм. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27619 popup.nrat_date 2025-05-12 Close