Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 2113U000797, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Features of Structure of Magnetron Films Si3N4 and SiC Автор Дата публікації 01-01-2013 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/33652 Видання Сумський державний університет Опис By small-angle X-ray scattering and atomic force microscopy shows the features of the structure of thin films of Si3N4 and SiC, deposited by magnetron sputtering on glass substrates. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/33652 Додано в НРАТ 2025-03-24 Закрити
Матеріали
Стаття
Features of Structure of Magnetron Films Si3N4 and SiC
Features of Structure of Magnetron Films Si3N4 and SiC : публікація 2013-01-01; Сумський державний університет, 2113U000797
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-14


Роздрукувати цю сторінку