Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2113U000919, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Перетворення в субмоношарових покриттях хрому та титану на поверхні Sі (001) Автор Дата публікації 01-01-2013 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30980 Видання Сумський державний університет Опис В даній роботі проведено дослідження перетворень в покриттях Ti та Cr (~ 1-3 нм) на поверхні Si (001) при кімнатній температурі до та після відпалу при 450 °С. Виявлено, що після відпалу формуються острівцеві плівки. Встановлено, що стехіометрія отриманих острівців відповідає дисиліцидній структурі. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30980 In this article the structure Si (001) surface covered by the pre-adsorbed (~ 1-3 nm) of Ti and Cr at room temperature after annealing at 450 °C was studied. It was found that after annealing on silicon surface formed island coverage. The investigation of stoichiometry shows that island’s composed of disilicide structure. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30980 В данной работе проведено исследования превращения в покрытиях Ti и Cr (~ 1-3 нм) на Si (001) при комнатной температуре до и после отжига при 450 °С. Выявлено, что после отжига формируются островковые пленки. Стехиометрия полученных островков отвечает диссилицидной структуре. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30980 Додано в НРАТ 2025-03-24 Закрити