Інформація × Реєстраційний номер 2113U001627, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Thesis Назва роботи Псевдоморфний ріст аморфної фази при магнетронному розпиленні Автор Дата публікації 01-01-2013 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43813 Видання Сумський державний університет Опис Дана робота присвячена розв'язку експериментальної задачі отримання надтонких суцільних металевих шарів на діелектричних підкладках. Головною проблемою на шляху вирощування таких шарів є фундаментальні особливості нуклеації плівок, в тому числі явище перколяції, тобто формування досить великих острівців металу на початкових етапах росту плівки та їх поступове зрощування в процесі осадження. Товщина суцільної плівки, яка відповідає саме порогу перколяції, може становити величину більше 20 нм. Таким чином, для зменшення товщини плівки необхідно або знижувати поріг перколяції, або уникати формування тривимірних острівців. Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити