Інформація × Реєстраційний номер 2113U001853, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Thesis Назва роботи Применение микроволновой сканирующей микроскопии в производстве нанокомпонент Автор Дата публікації 01-01-2013 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43872 Видання Сумский государственный университет Опис Сканирующая микроволновая микроскопия (СММ) относится к современному направлению экспериментальных исследований материалов и объектов с наноразмерной разрешающей способностью. Наибольшее развитие СММ достигла в области диагностики высокотемпературных полупроводниковых материалов и структур. Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити