Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 2114U000738, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Small-scale Vacuum System for Deposition of Multilayer Metallic Films “MVU TM – Magna 3M” Автор Дата публікації 01-01-2014 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/36126 Видання Sumy State University Опис A new small-scale vacuum system “MVU TM-Magna 3M” developed at JSC “Research Institute of Pre-cision Machine Manufacturing” is described. Its assembly and working conditions are considered. This sys-tem was used for magnetron sputtering multilayer metallic films. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/36126 Додано в НРАТ 2025-03-24 Закрити
Матеріали
Стаття
Small-scale Vacuum System for Deposition of Multilayer Metallic Films “MVU TM – Magna 3M”
Small-scale Vacuum System for Deposition of Multilayer Metallic Films “MVU TM – Magna 3M” : публікація 2014-01-01; Сумський державний університет, 2114U000738
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-14


Роздрукувати цю сторінку