Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 2114U001401, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Intrinsic Stress Formation at Plasma-Ion Deposition of TiN Coatings in Pulse Potential Mode Автор Дата публікації 01-01-2014 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/37125 Видання Sumy State University Опис Formula for intrinsic stress calculation in coatings deposited from ion flux in the pulse potential mode is derived. The case of deposition of ions with different charges is taken into account. The criterion of applicability of derived formula is proposed which permits determining critical parameters of the pulse potential mode. Calculation of stress in TiN coatings at deposition of low-energy ions Ti+ from filtered vacuum arc plasma is brought. The qualitative agreement of calculated stresses with experimental data is stated. The important role of deposition temperature for intrinsic stress control in deposited coating is noted. Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити
Матеріали
Стаття
Intrinsic Stress Formation at Plasma-Ion Deposition of TiN Coatings in Pulse Potential Mode
Intrinsic Stress Formation at Plasma-Ion Deposition of TiN Coatings in Pulse Potential Mode : публікація 2014-01-01; Сумський державний університет, 2114U001401
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-14


Роздрукувати цю сторінку