Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2114U001728, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Structural and Mechanical Properties of Nanocomposite Nb-Al-N Films Автор Дата публікації 01-01-2014 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/37182 Видання Sumy State University Опис Nb-Al-N films were deposited by magnetron sputtering of the Nb and Al targets in the Ar-N2 atmosphere on silicon wafers at various currents supplied to the magnetron device with the Al target (IAl=100, 150, 200, 300 mA). The films were studied with XRD, FTIR spectroscopy, as well by nanoindentation and Knoop indentation tests. The films were found to have the nanocomposite nc-B1-NbNx/a-AlN structure and exhibit the nanohardness and Knoop hardness in the ranges of 29-33.5 GPa and 46-48 GPa, respectively. The hardness and elastic modulus has an extreme dependence on IAl. Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити