Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 2115U000622, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Influence of Order of Double Step Implantation of 64Zn+ and 16O+ Ions into Si on Formation of Zinc-containing Nanoparticles Автор Дата публікації 01-01-2015 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43227 Видання Sumy State University Опис This paper presents the research the formation of zinc-containing nanoparticles (NPs) in Si (001) after double-step hot implantation of 64Zn+ and 16O+ ions. High-resolution Transmission Electron Microscopy (HRTEM) and X-ray Diffraction (XRD) methods were used to study a crystal structure of the samples. Depth profiles of implanted impurity atoms were measured by Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS). Zn NPs with a size of 3 up to 50 nm were found in the implanted samples. Zinc-containing NPs with the size of 5-10 nm were found in the surface layer of as-implanted Si substrates. The effect of the order of implantation on structural defects and the impurity atoms depth profiles is established. Додано в НРАТ 2025-03-24 Закрити
Матеріали
Стаття
Influence of Order of Double Step Implantation of 64Zn+ and 16O+ Ions into Si on Formation of Zinc-containing Nanoparticles
Influence of Order of Double Step Implantation of 64Zn+ and 16O+ Ions into Si on Formation of Zinc-containing Nanoparticles : публікація 2015-01-01; Сумський державний університет, 2115U000622
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-16


Роздрукувати цю сторінку