Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 2115U000794, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Temperature Influence on the Properties of Thin Si3N4 Films Автор Дата публікації 01-01-2015 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43269 Видання Sumy State University Опис Applying Raman spectroscopy, small-angle x-ray scattering, and atomic force microscopy it were studied phase composition and surface morphology of nanoscale films Si3N4 (obtained by RF magnetron sputtering). Додано в НРАТ 2025-03-24 Закрити
Матеріали
Стаття
Temperature Influence on the Properties of Thin Si3N4 Films
Temperature Influence on the Properties of Thin Si3N4 Films : публікація 2015-01-01; Сумський державний університет, 2115U000794
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15


Роздрукувати цю сторінку