Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2116U001924, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Thesis Назва роботи Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідникових сполук у безкисневій атмосфері Автор Дата публікації 01-01-2016 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/46248 Видання Сумський державний університет Опис Останнім часом для нанесення плівок полікристалічних матеріалів все більшу увагу привертають безвакуумні методи. Одним перспективних вважається метод спрей-піролізу, який дає змогу отримувати хімічно чисті плівки з керованим складом різної товщини при низьких температурах. Однак, за традиційною схемою розпилення прекурсору, що проводиться у повітрі й призводить до окислення матеріалів майбутньої плівки киснем. Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити