Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2116U005113, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Thesis Назва роботи Високоефективне напилення шаруватих структур періодичними лазерними імпульсами Автор Дата публікації 01-01-2016 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/47313 Видання Сумський державний університет Опис Для оптимізації технологічного процесу ефективного застосування ексимерних лазерів для потреб плівкових технологій необхідна інформація про основні параметри пари, що конденсується на підкладку. Однак, в небагатьох попередніх працях, в яких досліджувались властивості плівок, отриманих розпиленням мішені наносекундними лазерними імпульсами, властивості парової фази практично не досліджувались. В той же час, мас-спектрометричні та зондові дослідження парової фази дають змогу визначити ряд важливих параметрів конденсації, оптимізувати сам процес осадження, внести ясність в розуміння фізики випаровування складних мішеней. Після аналізу стану перерахованих вище проблем була сформована мета даної роботи. Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити