Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2117U006701, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття, Опубліковано Назва роботи ТЕХНОЛОГІЧНІ ДЕФЕКТИ ВИРОБНИЦТВА КРЕМНІЄВИХ ПІДКЛАДОК ДЛЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ ВІДБИВАЮЧИХ ПОВЕРХОНЬ МОЕМС-ПЕРЕМИКАЧІВ Автор Filipenko O. І.Chala O. О.Videshyn M. І.Filipenko O. I.Chala O. O.Videshyn M. I. Дата публікації 30-12-2017 Постачальник інформації Національний університет «Полтавська політехніка імені Юрія Кондратюка» Першоджерело https://journals.nupp.edu.ua/sunz/article/view/670 Видання Національний університет «Полтавська політехніка імені Юрія Кондратюка» Опис У статті розглянуто основні дефекти та способи їх мінімізації, що виникають під час виробництва кремнієвих підкладок, які використовуються у якості функціональних відбиваючих поверхонь для МОЕМСперемикачів та безпосередньо впливають на якість оптичних дзеркал та внесені втрати у оптичну систему в цілому. Додано в НРАТ 2026-04-19 Закрити