Search academic texts

Information × Registration Number 2118U001579, Article popup.category Стаття Title popup.author popup.publication 01-01-2018 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71622 popup.publisher Sumy State University Description Представлені результати дослідження кристалічної структури, фазового складу та дифузійних процесів у плівкових системах на основі Co та Ru в діапазоні товщин 5÷60 нм до і після відпалювання до температури 600 К. Було показано, що плівкові системи Co / Ru / П та Co / Ru / Со / П складаються з фази ГЩП-Co та ГЩП-Ru. Плівкові системи до складу яких входять шари Ru до і після відпалювання мають нанодисперсну кристалічну структур. Середній розмір кристалітів зразків до відпалювання не перевищує 3÷5 нм, після відпалювання максимальний середній розмір становив 16 нм для зразків з товщиною шарів 60 нм Результати дослідження дифузійних процесів двошарових плівкових систем Co / Ru / П в різних діапазонах товщин показали, що до і після відпалювання зберігається відносна індивідуальність окремих шарів оскільки розраховані значення ефективних коефіцієнтів термічної дифузії для відносно тонких та відносно товстих плівок лежать в межах від 0.1 до 1.1 × 10 – 19 м2 / с. Investigation results of crystalline structure, phase composition and diffusion processes in film systems based on Co and Ru in the thickness range 5÷60 nm before and after annealing to temperature 600 К are represented. It was shown that the film system Co / Ru / S and Co / Ru / Со / S consist of a phase hcp-Co and hcp-Ru. Film systems consisting of Ru layers before and after annealing have a nanodispersed crystalline texture. The average size of crystallites samples before annealing does not exceed 3÷5 nm, after annealing the maximum average size was 16 nm for samples with layer thicknesses 60 nm. The results of the study of the diffusion process of two-layer film systems Co / Ru / in different thickness ranges showed that before and after annealing the relative individuality of separate layers is preserved since the calculated values of thermal diffusion effective coefficients for relatively thin and thick films lie in the range from 0.1 to 1.1 × 10 – 19 m2 / sec. popup.nrat_date 2025-03-24 Close