Search academic texts

Information × Registration Number 2118U001765, Article popup.category Стаття Title popup.author popup.publication 01-01-2018 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71641 popup.publisher Сумский государственный университет Description Исследованы процессы синтеза слоев на основе твердых растворов ZnO–SnO2 при магнетронном распылении металлической мишени Zn–Sn, керамической мишени ZnO–SnO2 и металлокерамической мишени (ZnO–SnO2) + 10 вес.% (Sn–Zn). Показано, что магнетронное распыление мишеней Zn–Sn и (ZnO–SnO2) + 10 вес.% (Sn–Zn) может сопровождаться формированием периодических структур в результате периодического изменения состава поверхностных слоев распыляемой мишени в зоне эрозии мишеней. The processes of magnetron synthesis of ZnO–SnO2-based films by the magnetron sputtering of metal (Zn–Sn), ceramic (ZnO–SnO2) and composite (ZnO–SnO2 + 10wt.% Zn–Sn) targets were studied. It is shown that during magnetron sputtering of the metal and composite targets a multy-layered structure can be formed due to periodic changes in the composition of the sputtered target surface in the erosion zone. popup.nrat_date 2025-03-24 Close