Інформація × Реєстраційний номер 2118U001945, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Synthesis of Copper Nanoparticles by Cathode Sputtering in Radio-frequency Plasma Автор Дата публікації 01-01-2018 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/69948 Видання Sumy State University Опис The paper describes the design features of the synthesis of copper nanoparticles by the cathode sputtering method in radio-frequency plasma. The dependence of the size and number of Cu nanoparticles on the plasma power, sputtering time, gas flow and pressure was studied. Optimal parameters for obtaining copper particles with an extended fractal structure were determined. Додано в НРАТ 2025-03-24 Закрити