Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2122U003508, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Бакалаврська робота Назва роботи Чутливі елементи ємнісних сенсорів тиску: конструкція та фізичні принципи роботи Автор Дата публікації 01-01-2022 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/89263 Видання Сумський державний університет Опис Використання останнім часом мікроелектронних ємнісних сенсорів тиску є більш розповсюдженим, ніж мікроелектронні п’єзорезистивні та п’єзоелектричні датчики. Це є можливим за рахунок високої чутливості датчиків, низького енергоспоживання, майже відсутності температурних впливів на роботу сенсора та сумісності інтегральних систем. Ємнісні датчики тиску застосовуються у багатьох галузях промисловості, тому розвиток тонкоплівкової технології виготовлення таких датчиків є пріоритетним на сьогодні. У роботі представлені сучасні типи датчиків тиску, їх фізичні принципи роботи, переваги та недоліки. Окремо розглянута перспектива використання тонкоплівкового ємнісного сенсора тиску та способах підвищення характеристик і зменшення розмірів чутливих елементів даного сенсору. Детально розглянуто конструкцію та технологію виготовлення високотемпературного ємнісного датчика тиску на основі монокристалу 3С-SIC. Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити