Search academic texts

Information × Registration Number 2125U001143, Article popup.category Бакалаврська робота Title popup.author popup.publication 01-01-2025 popup.source_user Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського» popup.source https://ela.kpi.ua/handle/123456789/74497 popup.publisher Київ Description Метою дипломної роботи є дослідження іонно-індукованих структурно-фазових перетворень у багатошарових тонкоплівкових композиціях [Ni/Ti]x3, осаджених на кремнієву підкладку методом магнетронного розпорошення. Для цього проведено іонну імплантацію іонами Ar⁺ та N⁺ з енергією 110 кеВ та подальший аналіз за допомогою рентгеноструктурного фазового аналізу та вторинної іонної мас-спектрометрії. У результаті встановлено, що іони Ar⁺ спричиняють перемішування шарів Ni та Ti з утворенням NiTi-фази, тоді як іони N⁺ індукують формування дифузійно-бар’єрних прошарків TiN, які перешкоджають фазоутворенню. popup.nrat_date 2025-08-18 Close