Search academic texts

Information × Registration Number 2125U001768, Article popup.category Бакалаврська робота Title popup.author popup.publication 01-01-2025 popup.source_user Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського» popup.source https://ela.kpi.ua/handle/123456789/75201 popup.publisher Київ Description Об’єкт дослідження – електронна мікроскопія як інструмент вивчення наноструктур. Предмет дослідження – нанорозмірні структури в мікро- та наноелектроніці. Мета роботи – проаналізувати основні методи електронної мікроскопії, зокрема СЕМ і ТЕМ, для дослідження наноструктур; вивчити їх переваги, застосування та порівняти з іншими методами аналізу; ознайомитись з реальними прикладами застосування в напівпровідниковій та епітаксійній технологіях. У роботі проведено системний аналіз сучасних методів дослідження наноматеріалів, окреслено роль електронної мікроскопії як одного з найбільш ефективних способів візуалізації структур на атомному рівні. Детально розглянуто принципи роботи, будову, режими візуалізації скануючої (SEM) та трансмісійної (TEM) електронної мікроскопії. Наведено приклади аналізу квантових точок, нанодротів, тонких плівок, а також підповерхневих дефектів у напівпровідникових матеріалах. Проаналізовано перспективні напрямки розвитку електронної мікроскопії, зокрема 3D-реконструкцію, машинне навчання та кріо-ЕМ. popup.nrat_date 2025-09-01 Close