Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 2199U000019, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Synopsis Назва роботи Структура та електрофізичні властивості металевих плівок з напівпровідниковим покриттям в умовах хімічної та дифузійної взаємодії атомів Автор Дата публікації 01-01-1999 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3354 Видання Вид-во СумДУ Опис Досліджені електрофізичні властивості, структура, елементний та фазовий склад металевих плівок Cr, Ni, Cu, V, Sc в умовах взаємодії з атомами та молекулами залишкової атмосфери або напівпровідникового покриття Ge та Si (dпок1 нм). Встановлений ефект зменшення температур-ного коефіцієнта опору та коефіцієнта поздовжньої тензочутливості, що пов’язується із збільшен-ням коефіцієнта проходження межі зерна електронами у плівках металів після нанесення покриття та відпалювання. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3354 В диссертации к защите представлены результаты исследований, изложенные в 11 научных публикациях. Работа посвящена изучению электрофизических свойств, структуры, элементного и фазового состава металлических пленок Cr, Ni, Cu, V, Sc в условиях взаимодействия с атомами и молекулами остаточной атмосферы или полупроводникового покрытия Ge и Si (dпок1 нм). Проведены масс-спектрометрические исследования взаимодействия атомарных пучков и свежесконденсированных пленок металлов и полупроводников с газами остаточной атмосферы и установлена корреляция этих результатов с данными, полученными методами электронографии и вторичной ионной масс-спектрометрии. Установлены эффект уменьшения температурного коэффициента сопротивления и коэффи-циента продольной тензочувствительности, а также увеличение коэффициента прохождения гра-ницы зерна электронами в пленках Cr и Ni после нанесения покрытия из Ge и дальнейшего отжи-га. Сделан анализ механизмов реализации этого эффекта - адсорбция инородных атомов, адсорб-ция вакансий, фазовые переходы на границах зерен, реализация экситонного механизма проводи-мости, в результате чего был сделан вывод о том, что основным фактором здесь является частич-ное залечивание дефектной структуры границ зерен атомами покрытия вследствие диффузионных процессов. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3354 The electrophysical properties, structure, elements and phase composition of metallic films Cr, Ni, Cu, V, Sc under condition of interaction with atoms and molecules of residual gases or semiconductor overlayer Ge, Si (dove1 nm) were investigated. The decrease effect of the resistance temperature coeffi-cient, the longitudinal strain coefficient and increase ef-fect of the specula transmission coefficient (r) of grain boundary in films Cr and Ni were reveal by overlayer condensation and heating. It is explain of diffu-sion processes of atoms Ge in metal by grain boundary. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3354 Додано в НРАТ 2025-03-24 Закрити
Матеріали
Synopsis
Структура та електрофізичні властивості металевих плівок з напівпровідниковим покриттям в умовах хімічної та дифузійної взаємодії атомів
:
публікація 1999-01-01;
Сумський державний університет, 2199U000019
Знайдено документів: 1
Підписка
Повний текст наразі ще відсутній.
Повідомити вам про надходження повного тексту?
Повідомити вам про надходження повного тексту?
Оновлено: 2026-03-14
