Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0105U001127, ( 0208U000813  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Низькотемпературне отримання плівок на основі карбіду кремнія і вуглецю в умовах осадження іонів низьких енергій Керівник роботи Семенов Олександр Володимирович, Дата реєстрації 01-03-2005 Організація виконавець Інститут монокристалів НАН України Опис роботи Побудувати діаграми формування SiC плівок в умовах осадження часток з підвищеною енергією на основі встановлення закономірностей впливання енергії іонів, температури та інших факторів на формування структури та властивостей плівок карбіду кремнію Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити