Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0105U006577, Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження та розробка комплексу прецизійних локальних методів контролю фізико-хімічних параметрів напівпровідникових структур при створенні високонадійних виробів мікроелектроніки. Керівник роботи Попов Володимир Михайлович, Дата реєстрації 11-10-2005 Організація виконавець Державне підприємство "Науково-дослідний інститут мікроприладів" НТК "Інститут монокристалів" НАН України Опис роботи Метою роботи є дослідження, розроблення та впровадження комплексу прецизійних методів аналізу локального розподілу електрофізичних, структурно-домішкових властивостей та електрично активних дефектів (ЕАД) у напівпровідникових матеріалах і структурах на етапах розробки та оптимізації технології виготовлення високонадійних виробів мікроелектроніки. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити