Реєстраційна картка науково-дослідної роботи. Хируненко Людмила Іванівна. Роль власних міжвузельних атомів в дефектоутворенні в Ge і розчинах германій-кремній.

Інформація × Реєстраційний номер 0109U004510, ( 0211U000105  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Роль власних міжвузельних атомів в дефектоутворенні в Ge і розчинах германій-кремній. Керівник роботи Хируненко Людмила Іванівна, Дата реєстрації 12-06-2009 Організація виконавець Інститут фізики НАН України Опис роботи Одним з перспективних матеріалів сучасної мікроелектроніки є германій і сполуки германій-кремній, які передбачається використовувати для створення в майбутньому 22 нм КМОН приладів. Але, не дивлячись на великий інтерес до германію, багато питань стосовно структури і фундаментальних характеристик дефектів, що виникають при вирощуванні, при зовнішніх впливах (термообробки, опромінювання), при йонній імплантації залишаються до теперішнього часу не з'ясованими. Основна мета проекту полягає у встановленні ролі власних міжвузельних атомів у формуванні дефектів в германії і розчинах германій-кремній, розробці методів цілеспрямованої зміни електричних і оптичних властивостей германію. Пропонується використання легованого ізоелектронними домішками (оловом або кремнієм) германія та ізотопічно збагаченого 74Ge і 76Ge як модельних для досліджень атомної структури і фундаментальних характеристик дефектів, до складу яких входять власні міжвузельні атоми. Низькотемпературне опромінювання, ізохронні відпали в широкому Додано/оновлено в НРАТ 2024-12-10 Закрити