Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0110U005794, ( 0211U001026  ) Науково-дослідна робота Назва роботи "Розроблення методів інтерференційної нанолітографії для формування рельєфно-фазових наноструктур з використанням вакуумних фоторезистів" 1 етап -"Оптимізація процесів вакуумного нанесення халькогенідних резистів та дослідження фотостимульованих змін їх розчинності. Розробка високоефективних селективних травників". Керівник роботи Індутний Іван Захарович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 07-10-2010 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи "Дослідження та розробка ефективних методів інтерференційної (включаючи імерсійну) нанолітографії з використанням високороздільних халькогенідних фоторезистів, та застосування їх для формування оптичних, оптоелектронних, електронних періодичних наноструктур з просторовими частотами до 8000 мм-1. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити