Знайдено документів: 1
Керівник: Євтух Анатолій Антонович. Дослідження та розробка іонно-плазмових технологій формування кремнієвих нанокомпозитів при введенні домішок стимулюючих процеси самоорганізації..
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України. № 0110U006270
Знайдено документів: 1
Оновлено: 2026-03-24
