Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0111U004315, ( 0212U000269  ) Науково-дослідна робота Назва роботи "Розроблення методів інтерференційної нанолітографії для формування рельєфно-фазових наноструктур з використанням вакуумних фоторезистів" етап 2: "Дослідження та оптимізація процесів інтерференційного експонування неорганічних фоторезистів з використанням імерсії" Керівник роботи Індутний Іван Захарович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 18-04-2011 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Дослідження та розробка ефективних методів інтерференційної (включаючи імерсійну) нанолітографії з використанням високороздільних халькогенідних фоторезистів, та застосування їх для формування оптичних, оптоелектронних, електронних періодичних наноструктур з просторовими частотами до 8000 мм-1. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити