Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0113U002132, ( 0213U004608  ) Науково-дослідна робота Назва роботи "Розроблення методів інтерференційної нанолітографії для формування рельєфно-фазових наноструктур з використанням вакуумних фоторезистів" етап 4 "Розробка та дослідження рідинної імерсійної фотолітографії на основі халькогенідних фоторезистів" Керівник роботи Індутний Іван Захарович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 13-02-2013 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Дослідження та розробка технологічного процесу рідинної імерсійної інтерференційної нанолітографії, формування методом імерсійної нанолітографії періодичних одновимірних і двовимірних наноструктур та дослідження їх характеристик Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити