Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0114U001616, ( 0214U000982  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення методів інтерференційної нанолітографії для формування рельєфно-фазових наноструктур з використанням вакуумних фоторезистів" етап 5 "Розробка та дослідження твердофазної імерсійної фотолітографії на основі халькогенідних фоторезистів. Підготовка заключного звіту Керівник роботи Індутний Іван Захарович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 25-03-2014 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Дослідження та розробка технологічного процесу твердофазної імерсійної інтерференційної нанолітографії, формування методом імерсійної нанолітографії періодичних одновимірних і двовимірних наноструктур та дослідження їх характеристик Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити