Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0115U001364, ( 0216U001193  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка та дослідження плазмового джерела нового типу для однорідної обробки великих поверхонь на основі геліконного розряду з лінійною збуджуючою системою Керівник роботи Вірко Валерій Федорович, Дата реєстрації 25-05-2015 Організація виконавець Інститут ядерних досліджень НАН України Опис роботи Дослідження нового різновиду геліконного розряду, здатного створювати плазму, концентрація якої є однорідною вздовж однієї координати (лінії). Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Розробка та дослідження плазмового джерела нового типу для однорідної обробки великих поверхонь на основі геліконного розряду з лінійною збуджуючою системою
Керівник: Вірко Валерій Федорович. Розробка та дослідження плазмового джерела нового типу для однорідної обробки великих поверхонь на основі геліконного розряду з лінійною збуджуючою системою. Інститут ядерних досліджень НАН України. № 0115U001364
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-27


Роздрукувати цю сторінку