Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0200U003152, 0198U002386 , Науково-дослідна робота Назва роботи Моделювання температурних полів в конструкціях мікроелектронних пристроїв та технологічному обладнанні при їх виготовленні Назва етапу роботи Керівник роботи Федасюк Д.В., Дата реєстрації 17-03-2000 Організація виконавець Державний університет "Львівська політехніка" Опис етапу Об'єкт дослідження: газофазні операції, які застосовуються для виробництва ІС, можуть бути окремо промодельовані за допомогою даного пакету прикладних програм (ППП). ППП використовує моделі газодинаміки, тепло- та масопереносу для пояснення та аналізу фізичних процесів, що відбуваються в реакторі за час технологічного процесу. ППП може використовуватися в учбовому процесі, для навчання технічного персоналу, на етапі проектування технологічного циклу, для вияснення причин браку на виробництві. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-03 Закрити