Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0201U001180, 0198U000951 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження твердофазних реакцій силіцидоутворення в біметалевих тонкоплівкових системах Ti-W, Ti-Co на кремнії Назва етапу роботи Керівник роботи Макогон Ю.М., Дата реєстрації 22-01-2001 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут", інженерно фізичний факультет Опис етапу Методами фізико- хімічного аналізу (Оже-електронна спектроскопія, вторинно-йонна масспектроскопія, оптичний Фурє аналіз, рентгеноструктурний аналіз, резістометрія, рентгенотензометрія) встановлено закономірності формування фазового складу і структури плівкових систем Ti-W, Ti-Co, Al-Ti-W на кремнії. Замість традиційної термічної обробки в умовах стаціонарного вакуумного відпалу запропонована швидкісна термічна обробка - імпульсний фотонний відпал. Для отримання плівки TiSi2 з питомим електроопіром 45 мкОм.см, яка стабільна при 1100 К, потрібен відпал 970 К , 30 сек. В системі Al-Ti-W на кремнії відпал при 1170 К,40 сек дозволяє сформувати складний силіцид ( Ti3W5)Si10, який є ефективним бар'єром для взаємодіфузії алюмінія та кремнія, що підвищує термостабільність плівкової системи до 700 К. В плівках системи Ti-Co/Si показано принципову можливість формування епітаксійних шарів дисиліциду кобальту на кремнії. Для цього необхідно в системі Co-Ti створення дифузійної мембрани, яка буде уповільнювати швидкість взаємодифузії кобальту та кремнію і створювати умови для оптимального зростання CoSi2 і формування епітаксійного шару з покращеними електро-фізичними властивостями та експлуаційною стабільністю, що робить можливим підвищення ступені інтеграції мікросхем з розмірами елементів меньш 100 нм. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити