Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0203U000157, 0100U003219 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дифузійні процеси в багатошарових системах плівка/плівка і плівка/масивний матеріал. Назва етапу роботи Керівник роботи Проценко Іван Юхимович, Дата реєстрації 21-01-2003 Організація виконавець Сумський державний університет Опис етапу Звіт про НДР: 81 с., - 22 рис., 10 таблиць, 69 джерел. Об'єкти дослідження - особливості дифузійних процесів у дво - та тришарових плівкових структурах на основі Cr, Cu, Ni, V, Ti, Co, Sc та Zn та структурні дифузійні процеси фазоутворення. Мета роботи - встановлення впливу розмірного ефекту (середнього розміру кристалітів) та температури на величину коефіцієнтів дифузії атомів у плівкових структурах типу Ме1/Ме2 та Ме1/Ме( ), де Меі - метал плівки, Ме ( ) - метал масивної підкладки. Методи дослідження - вакуумна конденсація, вторинно-іонна мас-спектрометрия, електронна мікроскопія, електронографія. Встановлено, що коефіцієнти зерномеживої дифузії атомів зменшуються при збільшенні середнього розміру кристалів у плівці або підкладці. Запропоновані рівняння дифузії Cr-Сu і Ni-Fe. Узагальнені особливості зарномежевої дифузії в плівкових матеріалах з різним ступенем дисперсності кристалітів. Результати НДР можуть бути використані у різних галузях мікроелектроніки та металофізики, а патент на чутливий елемент тензодатчика - в електронній промисловості. ДИФУЗІЙНІ ПРОЦЕСИ, КОЕФІЦІЄНТИ ДИФУЗІЇ, ПЛІВКОВІ СИСТЕМИ, ФАЗОУТВОРЕННЯ, РОЗМІРНИЙ ЕФЕКТ, РОЗМІРИ КРИСТАЛІТІВ. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити