Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0203U008039, 0101U002794 , Науково-дослідна робота Назва роботи Радіаційні ефекти в шаруватих структурах на основі напівпровідників і діелектриків та розробка теоретичних основ радіаційного моніторингу довкілля на основі геоінформаційного моделювання Назва етапу роботи Керівник роботи Пеліхатий М., Дата реєстрації 10-04-2003 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єкт дослідження — тонкі шари на напівпровідниковій підкладці та напівпровідникові матеріали, процеси формування шаруватих структур, процеси радіаційної модифікації матеріалів, технології виготовлення інтегральних схем середньої степені інтеграції з використанням потоків прискорених частинок; територія, процеси її радіаційного забруднення і очищення, системи радіаційного моніторингу території. Мета дослідження: отримання нових даних про механізми радіаційного дефектотворення при взаємодії шаруватих структур з високоенергетичними частинками; вивчення впливу радіаційних дефектів на радіаційну модифікацію фізичних властивостей шаруватих структур, елементів і інтегральних схем середньої ступені інтеграції, підвищення їх надійності та радіаційної стійкості; розробка теоретичних основ радіаційного моніторингу довкілля на основі геоінформаційного моделювання території, що досліджується, визначення загальних принципів побудови систем радіаційного моніторингу території. Методи дослідження і апаратура: прискорювачі заряджених частинок, методи електронографії, оптичної і растрової мікроскопії, методи системного аналізу, математичного моделювання, статистичного аналізу та інші. В результаті виконання НДР було отримано такі основні результати: розроблено фізико-математичні моделі формування профілів розподілу вторинних частинок в металах, діелектриках та напівпровідниках; досліджено ефекти, що супроводжують процеси формування шаруватих структур; на основі проведення спектроскопії шарів діелектриків показано, що нові оптичні смуги поглинання, спад інтенсивності та їх зсув пов'язані зі структуруванням діелектриків, з утворенням осколків полімерних ланцюгів та з продуктами хімічних реакцій, що утворюються при взаємодії частинок металевої плазми з плівками термопластичних полімерів; показано, що в приповерхневих прошарках утворюються нові фази, які викликають механічні напруження, аморфність і полікристалічність. Проведено експериментальні дослідження та теоретичний аналіз можливостей радіаційної модифікації матеріалів,які показали, що змінюючи енергію проникаючих іонів домішки в процесі бомбардування, можна керувати профілем впроваджених іонів, його формою, що суттєво впливає на електрофізичні властивості матеріалу. Досліджено технологічні прийоми, методи та технології виробництва шаруватих структур, інтегральних схем середньої степені інтегроації з використанням потоків прискорених частинок; розроблено нові методи отримання шаруватих структур із заданими властивостями; запропонована електропроменева технологія для виготовлення датчиків Холла, яка дозволяє поліпшити параметри датчиків, усунувши вплив крайових ефектів; розроблено технологію одержання радіаційно стійких мікросхем з використанням методу іонного легування. Розроблено узагальнену модель радіаційного моніторингу території як невід'ємної складової системи управління соціально-еколого-економічною територіальною системою; розроблено концептуальні основи визначення, діагностики і прогнозування радіаційної обстановки, радіаційного стану і радіаційної ситуації території; розроблено узагальнену структуру інформаційного забезпечення радіаційного моніторингу довкілля; розроблено узагальнену структуру системи радіаційного моніторингу як складної інформаційно-управляючої системи; методологію геоінформаційного моделювання території; розроблено узагальнену структуру підсистеми інформаційного забезпечення системи радіаційного моніторингу; розроблено математичні моделі, методи та алгоритми інтегрованої обробки даних в системах радіаційного моніторингу. Область використання результатів: охорона довкілля та напівпровідникова техніка. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити