Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0204U000009, 0103U002207 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка потужних імпульсних систем розпилення матеріалів на основі магнетронних і дугових систем і прив'язка їх до технологічних процесів із метою одержання нових тонко- і товстошарових покриттів Назва етапу роботи Керівник роботи Кузьмичєв Анатолій Іванович, Дата реєстрації 08-01-2004 Організація виконавець Науково-дослідний інститут прикладної електроніки Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут" Опис етапу Розглянуто фізико-технологічні і апаратурні аспекти застосування імпульсних режимів при одержанні тонко- і товстошарових покриттів за допомогою магнетронних і дугових систем розпилення. Показано, що найбільш доцільно застосувати системи з двома магнетронами, електричне живлення яких здійснюється від імпульсних модуляторів, що генерують біполярні імпульси і працюють в режимі генератору струму. Вибрано частотно-часові параметри для стабільного імпульсного процесу осадження покриттів, Створена математична модель руху розпилених часток, яка базується на методі Монте-Карло. Модель дозволяє одержувати фізично достовірні результати і детальну інформацію про особливості імпульсного масопереносу матеріалу на підкладку в системах з одним та двома магнетронами. Результати розрахунків можуть бути використані для вибору оптимальних умов проведення технологічних процесів. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити