Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0204U003531, 0103U007311 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розвиток комплексу методів практичної діагностики для супроводження сучасних технологій отримання наноструктур із заданими фізичними і фізико-хімічними параметрами та характеристиками Назва етапу роботи Керівник роботи Прокопенко Ігор Васильович, Дата реєстрації 24-03-2004 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Запропонований неруйнуючий метод контролю напружених короткоперіодних надграток GaAs-AlAs із аналізу кривих дифракційного відбивання квазізаборонених рефлексів типу 200, дає можливість контролювати структуру кожного із шарів надграток, товщин субшарів, а також величину шорсткості перехідної області надграток та стан пружних деформацій. Застосування реалізованих алгоритмів реконструкції нанорозмірних поверхонь в АСМ дослідженнях дозволило отримати достовірну інформацію про геометричні розміри деталей поверхонь менших за радіус вістря мікроскопу (для кремнієвих зондів радіус складає 5-10 нм). Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити