Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0206U004157, 0103U003689 , Науково-дослідна робота Назва роботи Технологічні основи отримання високоміцних металізованих покриттів на виробах мікрооптики та наноелектроніки електронно-променевим методом Назва етапу роботи Керівник роботи Ващенко В'ячеслав Андрійович, Доктор технічних наук Дата реєстрації 13-02-2006 Організація виконавець Черкаський державний технологічний університет Опис етапу Об'єктом дослідження є електронна технологія та обладнання для отримання металізованих покриттів на виробах мікрооптики та наноелектроніки. Метою проекту є дослідження і вивчення можливостей електронно-променевого впливу на матеріал (оптичне скло) для створення елементної бази мікрооптики та наноелектроніки; отримання патентів України, що забезпечить пріоритет України у вказаній області. У першому розділі цього звіту викладені результати огляду патентної та технічної літератури. В результаті встановлено, що низькоенергетичні потоки електронів дозволяють: проводити спрямовану фізико-технічну зміну поверхневих шарів оптичних матеріалів; формувати мікрорельєф на оптичній поверхні та хвилеводи різноманітних траєкторій; отримувати ювенільні поверхні та пластинчасті зколи оптичного скла. В другому розділі наводиться опис технологічного обладнання для отримання металізованих покриттів на виробах мікрооптики та наноелектроніки електронно-променевим методом, а саме: арматури для електронно-променевих установокдля обробки оптичних матеріалів без покриттів та з металізованими покриттями, піч нагріву з системою програмного керування, високовольтне джерело живлення електронно-променевої гармати Пірса, джерело живлення резистивного випарника, механізм механічного переміщення поступальної дії з мікропроцесорною системою керування. Приводиться детальний опис спроектованої і виготовленої електронна гармата Пірса, яка дозволяє суттєво підвищити якість, ефективність та відтворюваність результатів обробки оптичних виробів. В третьому розділі наводяться розроблені методики експериментальні дослідження електронної гармати Пірса, а саме: методика розрахунку параметрів дротяного катоду для електронної гармати Пірса та методика вимірювання параметрів стрічкового електронного потоку за формою і розміром електронної стрічки. Четвертий розділ присвячений розробці математичної моделі для розрахунку розподілу теплових полів в оптичних матеріалах від дії стрічкового електронного потоку. В п'ятому розділі наводяться результати досліджень відбиваючих плівок алюмінію, міді, хрому та нікелю та рельєфних структур (одно- та двохсторонні ортогональні та гексагональні лінзові растри з діаметрами лінз 30...120 мкм і висотою 250...1500 нм) на поверхнях пластин круглої (діаметром 20 мм; товщиною 1; 2; 6 мм) та прямокутної форми (80x14x4; 80x22x4; 25x20x1 мм) з оптичного скла марок К8, БК10, ТК21, а також фотопластин. Також визначені оптимальні режими технологічного процесу для резистивного напилювання матеріалів та для рельєфоутворення електронним методом. Досліджень проводилися за методиками згідно ОСТ 3-1901-85, а також з використанням методів атомно-силової мікроскопії (прилад NT-206V), оптичної мікроскопії (прилад МБС-9) та методу пробного скла. Результати роботи можуть бути впроваджені в науково-дослідних інститутах і конструкторських бюро, що займаються проектуванням та розробкою виробів мікрооптики та інтегральної оптики і інтегрально-оптичних пристосувань спеціального призначення. Областю застосування результатів досліджень є мікро оптика, волоконна та інтегральна оптика, точне приладобудування, комп'ютерний і телевізійний зв'язок, медична техніка. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити