Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0207U000155, 0104U008839 , Науково-дослідна робота Назва роботи Створення основ технології формування та контролю функціональних наноструктур на поверхні напівпровідників та металів за допомогою керованих мікрозондових пристроїв Назва етапу роботи Керівник роботи Воронько Андрій Олександрович, Дата реєстрації 11-01-2007 Організація виконавець Закрите акціонерне товариство "Науково-виробничий концерн "Наука" Опис етапу По результатам експериментальних досліджень вибрані оптимальні режими роботи експериментальної технологічної лінії для дослідження поверхні наноструктур з різного матеріалу (напівпровідники та метали), а також для локального анодного окислення. На основі фізико-хімічної моделі утворення анодних оксидних плівок проведено дослідження процесу локального зондового окислення. Встановлено основні закономірності впливу типу матеріалу, товщини покриття, параметрів прикладеної напруги, вологості середовища на розподільчу здатність методу та властивості оксиду. Розроблено експериментальний зразок багатофункціонального модуля скануючого тунельного мікроскопу для аналізу та модифікації поверхні напівпровідників та металів на субмікронному рівні та проведено його випробування. Показано, що надвисоковакуумна камера УСУ-4 має граничні технічні характеристики на рівні сучасних вимог до надвисоковакуумних установок. Використання її як аналітичний реактор в нанолітографі відкриває широкі можливості по реалізації контрольованих умов на поверхні зразка в нанолітографічних процесах аж до чистоти на атомарному рівні. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити