Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0207U000160, 0104U008838 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технологічних методів формування топологічних субмікронних норм з метою створення надвисокочастотних малошумлячих приладів міліметрового діапазону Назва етапу роботи Керівник роботи Коржинський Федор Йосипович, Дата реєстрації 11-01-2007 Організація виконавець Закрите акціонерне товариство "Науково-виробничий концерн "Наука" Опис етапу В результаті проведення роботи створено дослідну технологічну лінію субмікронної-нанометрової літографії, технологічні методи формування субмікронних структур, характеристики і параметри яких відповідають кращим світовим технологічним зразкам. Проведений аналіз вимог на матеріали, конструкції й фізичні принципи, покладені в основу роботи приладів з нанорозмірними каналами на основі сполук АІІІВV. Розроблена топологія планарних нанотранзисторів, маршрутна технологія їх виготовлення. Виготовлено макет планарного транзистора і виміряні його характеристики. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Розробка технологічних методів формування топологічних субмікронних норм з метою створення надвисокочастотних малошумлячих приладів міліметрового діапазону
Керівник: Коржинський Федор Йосипович. Розробка технологічних методів формування топологічних субмікронних норм з метою створення надвисокочастотних малошумлячих приладів міліметрового діапазону. (Етап: ). Закрите акціонерне товариство "Науково-виробничий концерн "Наука". № 0207U000160
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-27


Роздрукувати цю сторінку