Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0207U000598, 0101U006245 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження механізмів каталітичних і адсорбоелектричних ефектів в тонких плівках перехідних металів та оксидах Назва етапу роботи Керівник роботи Литовченко Володимир Григорович, Дата реєстрації 26-01-2007 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Досліджувалися адсорбоелектричні ефекти, які виникають в структурах метал - діелектрик -напівпровідник (МДН) на основі пористого кремнію з тонкими каталітично активними електродами з паладію та композиту мідь - паладій при адсорбції вод немістких молекул газів. Метою даного проекту є з'ясування фізичних механізмів адсорбоелектричного ефекту в багатошарових структурах, сформованих на основі кремнію, з каталітичними CuхPd композитними та паладієвими плівками при адсорбції водню і воднемістких молекул та отримання базових параметрів поверхневих центрів, відповідальних за досліджуваний ефект. Методи дослідження: високо - частотний метод вольт-фарадних характеристик (ВЧ ВФХ), метод вольт-амперних характеристик (I-V), метод інфра - червоної спектроскопії (ІЧС), метод растрової електронної мікроскопії (РЕМ), метод силової атомної мікроскопії. Представлені результати експериментальних досліджень адсорбції та поглинання водню тонкими (300 - 500 A) та надтонкими (1 - 4 моношари) плівками паладію та сплаву паладій-мідь, які були нанесені як на шарувату структуру діелектрик - напівпровідник (ДН) на основі пористого кремнію, так і на монокристалічні вольфрамові підкладки. В першому випадку експерименти були проведені у газових сумішах водень - аргон з концентрацією водню ~500 ppm на МДН структурах з Pd, Pd/Cu електродами, а структури Pd/W(110), Cu/Pd/W(110), O2/Cu/Pd/W(110), досліджувалися в умовах надвисокого вакууму (~1 10-9 Торр). Застосування шарів пористого кремнію в якості підкладки для каталітично активних електродів Pd та Cu/Pd повинне привести до значного зростання газової чутливості сенсорних структур. На даному етапі була розроблена методика виготовлення наноструктурованих шарів пористого кремнію, проведене дослідження методами РЕМ структури даних пористих плівок, вивчення змін їх хімічного складу внаслідок різних термічних обробок методами ІЧС та встановлення механізмів адсорбції/десорбції на поверхні Pd- та Cu/Pd- МДН - структур на основі отриманих шарів пористого кремнію. Показано, що надтонкі шари міді,нанесені на поверхню паладію, підсилюють дисоціативну адсорбцію і зменшують десорбцiю водню, чим сприяють переходу атомарного водню в об'єм плівки та збільшують чутливість МДН структур з Pd/Cu електродами до адсорбції водню. Запропоновані механізми підсиленої дисоціації водню та водневих сполук на поверхні сплаву паладій-мідь газової чутливості структур на основі пористого кремнію. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити