Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0207U002163, 0102U005975 , Науково-дослідна робота Назва роботи Використання ефекту молекулярного екрану для одержання надчистих напівпро-відникових матеріалів і тонкоплівочних покриттів у гіперглибокому вакуумі в космосі. Назва етапу роботи Керівник роботи Патон Борис Євгенович, Дата реєстрації 17-01-2007 Організація виконавець Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона Опис етапу Досліджений вплив вакууму при електронно-променевій зонній плавці кремнію на десорбцію кисню і фосфору. Проведено дослідження впливу ступеня вакууму і складу залишкової атмосфери на структуру і склад покриттів, одержаних шляхом електронно-променевого випаровування в космічних і земних умовах. Розроблена методика підготовки вакуумної камери, яка забезпечує мінімальний вміст домішок газів в залишковій атмосфері при проведенні наземних експериментів із електронно-променевої плавки і випаровування. Розроблена технологічна схема отримання надвисокого вакууму за допомогою молекулярного екрану в космосі. Проведені розрахунки силової фермової конструкції, а також проведене наземне експериментальне відпрацювання механізмів розкриття екрана . Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
1
Керівник: Патон Борис Євгенович. Використання ефекту молекулярного екрану для одержання надчистих напівпро-відникових матеріалів і тонкоплівочних покриттів у гіперглибокому вакуумі в космосі.. (Етап: ). Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона. № 0207U002163
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-25