Реєстраційний номер
0208U000204,
0105U008208
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Скануючий силовий мікроскоп з алмазним вістрям та акустичним каналом
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Лисенко Олег Григорович,
Дата реєстрації
18-01-2008
Організація виконавець
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля
Опис етапу
Розроблено, виготовлено та випробувано прилад для дослідження поверхні на наномасштабному рівні та виконання зондових нанотехнологічних операцій на базі скануючого силового мікроскопу з алмазним вістрям, що має акустичний канал. Прилад включає механічну конструкцію з гвинтовим механізмом попереднього зближення зонду та зразка, керуючу п'єзоголівку з можливістю трьох позиційного переміщення вістря відносно зразка, пружну консоль з алмазним вістрям, датчики для визначення положення вістря та вимірювання акустичних сигналів, що виникають при взаємодії вістря та зразка, а також електронні складові. Керування приладом виконується за допомогою спеціально розробленого програмного забезпечення, яке подає відповідні команди з комп’ютера на електронний модуль керування. Проведено випробування приладу в режимах сканування та дослідження механічних характеристик поверхні на наномастабному рівні та зондових нанотехнологічних операціях.
Опис продукції
Автори роботи
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
